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Seminar
Grundlagen der Plasmatechnik
Aufbauseminar
https://www.efds.org/event/aufbauseminar-grundlagen-der-plasmatechnik/Das Programm im Überblick:
- Registrierung & Besichtigung der Ausstellung
- Theorie-Teil:
- Vorbehandlung vor der Beschichtung
a) Werkzeugbeschichtung
b) Großflächenbeschichtung - Konzepte und Aufbau von Vakuumbeschichtungsanlagen
- Vorbehandlung vor der Beschichtung
- Praxis-Teil
- Besichtigung des Fraunhofer FEP
- Praktische Arbeiten
Gruppe 1: Vakuumbeschichtungssystem
Gruppe 2: Atmosphärendruckplasmaquelle
- Auswertung & Fragen
Die Inhalte im Theorieteil:
- Vorbehandlung vor der Beschichtung
- Teil a) Werkzeugbeschichtung
– Arten von Verunreinigungen (arteigene und artfremde)
– Reinigungsverfahren Vorreinigung (Nasschemisch, Schneestrahlen, Neuartiges Verfahren)
– Plasmabasierte Feinreinigung in der Beschichtungskammer - Teil b) Großflächenbeschichtung
- Reinigung von Flachglas
- Eigenschaften von (Float)-Glasoberflächen
- Welche Verunreinigungen sind auf Glasoberflächen typischerweise zu finden?
- Glasreinigung durch Waschprozesse
- Plasmaprozesse zur Behandlung von Glasoberflächen
- Konzepte und Aufbau von Vakuumbeschichtungsanlagen
– PVD- Anlagen für die Werkzeug- und Bauteilebeschichtung
– Glas- und Waferbeschichtungsanlagen
– Beschichtungsanlagen für die Prozessierung flexibler Substrate
– Modulare Prozesssysteme
o Cluster-Systeme, Batch-Systeme, In-line-Systeme
Die Inhalte im Praxisteil:
- Besichtigung einiger Forschungslabore des Fraunhofer FEP und Demonstration von Beispielbeschichtungen
- In-Line Beschichtungsanlagen für die Beschichtung großflächiger flacher Gläser
- Rolle-zu-Rolle Beschichtungsanlagen für die Beschichtung von flexiblen Kunststofffolien
- In-Line Beschichtungsanlage zur Beschichtung von metallischen Bändern
- Rolle-zu-Rolle Beschichtungsanlage zur Beschichtung von flexibel biegbaren Gläsern
- Praktische Gruppenarbeit an einem Vakuumbeschichtungs- system durch Nutzung von Magnetronsputtern
- Beschichtung von Flachgläsern mit einer transparenten elektrisch leitfähigen Oxidschicht an einer In-Line Beschichtungsanlage
- Demonstration aller Prozessschritte von der Einschleusung der Gläser, dem Start des Sputterprozesses, der Beschichtung der Gläser bis hin zur Ausschleusung der beschichteten Gläser
- Einblicke in die Welt der Erzeugung eines Plasmas durch Magnetronsputtern
- Praktische Gruppenarbeit mit einer Atmosphärendruck-Plasmaquelle
- Was gilt es beim Betrieb eines Atmosphärendruckplasmas zu beachten?
- Wie wechselwirkt ein Normaldruckplasma mit einer Oberfläche?
- Wie verändert sich das Benetzungsverhalten von Kunststoffen oder organischen Materialien, wie z.B. Holz?